SF6氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。

SF6是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰，因此在交流電弧電流過零時，SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多，其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩定性，它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中，SF6作為滅弧介質，已取代油，并已大量取代了壓縮空氣。

從60年代中期起，SF6被廣泛用作高壓電氣設備的絕緣介質。SF6氣體絕緣的全封閉開關設備比常規的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統，而且已開始用于配電網絡(SF6氣體絕緣的開關柜和環網供電單元)。SF6氣體絕緣的管道輸電線的優點是介質損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場合，因此常用于水電站出線，取代常規的充油電纜。SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優點，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區和高層建筑的供電。SF6氣體絕緣的超高壓變壓器已研制成功，全氣體絕緣變電所將是變電技術發展的一個方向。

密封試驗是通過檢測SF6氣體的泄漏量，來判定氣室的年漏氣率是否合格，控制標準是每一獨立氣室的年漏氣率不大于0.5％；《電氣設備交接試驗標準》條文說明中提出兩種試驗方法和控制標準：
1、采用靈敏度不低于l×10-6（體積比）的檢漏儀對氣室密封部分、管道接頭等處進行檢測時SF6檢漏儀未發生報警認為合格。
2、采用局部包扎法，待24h后檢測每個包扎腔內 SF6含量不大于30ppm（體積比）即為合格。
目前采用第二種試驗方法較為準確，其實施程序是：抽真空檢驗→SF6氣體→泄漏檢驗。具體過程為：在GIS經真空檢漏并靜止SF6氣體5 h后，用塑料薄膜在法蘭接口等處包扎，再過24h后進行檢測，如果有一處薄膜內SF6氣體的濃度大于30 ppm，則該氣室漏氣率不合格。如果所有包扎薄膜內SF6氣體的濃度均小于30ppm，則認為該氣室漏氣率合格。

1、急性毒性：兔子靜脈注射LD50：5790mg/kg。
2、六氟化硫是一種窒息劑，在高濃度下會呼吸困難、喘息、皮膚和黏膜變藍、全身痙攣。 吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會出現四肢麻木，甚至窒息死亡 。我國規定，操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m3或空氣中氧含量應大于18%；短期接觸，空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3。六氟化硫在藥理上是惰性氣體，低毒但對人體有窒息作用。在生活或使用過程中會分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。
3、急性毒性LD50：5790mg/kg（兔靜脈）。

具體過程為：在GIS經真空檢漏并靜止SF6氣體5h后，用塑料薄膜在法蘭接口等處包扎，再過24h后進行檢測，如果有一處薄膜內SF6氣體的濃度大于30 ppm，則該氣室漏氣率不合格。如果所有包扎薄膜內SF6氣體的濃度均小于30ppm，則認為該氣室漏氣率合格。