SF6氣體幾乎成為高壓、超高壓斷路器和GIS中唯一的絕緣和滅弧介質(zhì)。純凈的SF6氣體無色、無味、不燃，在常溫下化學性能特別穩(wěn)定，是空氣比重的5倍多。但在電力系統(tǒng)中，由于SF6氣體主要充當絕緣和滅弧介質(zhì)，在電弧及局部放電、高溫等因素影響下，SF6氣體會進行分解。它的分解物遇水份后生成腐蝕性電解質(zhì)，尤其是某些高毒性分解物，如SF4、S2F2、SOF2、HF、SO2等，如大量吸入人體會引起頭暈和肺水腫，甚至昏迷及死亡。

SF6是一種窒息劑，在高濃度下會呼吸困難、喘息、皮膚和黏膜變藍、全身痙攣。 吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會出現(xiàn)四肢麻木，甚至窒息死亡 。我國規(guī)定，操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m3或空氣中氧含量應(yīng)大于18%；短期接觸，空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3。六氟化硫在機理上是惰性氣體，低毒但對人體有窒息作用。在生活或使用過程中會分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。 

在相對密封的室內(nèi)，由于空氣流通不暢，SF6及其分解物在室內(nèi)沉積，加上SF6氣體無色、無味，從而對巡視、檢修人員產(chǎn)生極大的危害。當GIS產(chǎn)生泄漏后，SF6氣體積聚在地板低層空間，造成局部缺氧，使人窒息而造成重大事故。但在《電業(yè)安全工作規(guī)程》（發(fā)電廠和變電站部分）以及相關(guān)的要求中未提及在電纜溝設(shè)置SF6監(jiān)測探頭和氧量儀，但由于安全起見，在電纜溝和電纜夾層比較干燥的低位區(qū)合理位置適當安裝1到2個SF6監(jiān)測和氧量監(jiān)測 探頭。

SF6報警裝置安裝根據(jù)《DL408-1991 電業(yè)安全工作規(guī)程（發(fā)電廠和變電所電氣部分）》第八章、《DLT 639-1997 六氟化硫電氣設(shè)備運行、試驗及檢修人員安全防護細則》第4章要求和《JBT 10893-2008 高壓組合電器配電室六氟化硫環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)》。其中在《電業(yè)安全工作規(guī)程》（發(fā)電廠和變電站部分）中特別規(guī)定，要求裝有SF6設(shè)備的配電裝置室必須保證SF6氣體濃度小于1000ppm，除須裝設(shè)強力通風裝置外還必須安裝能報警的氧量儀和SF6氣體濃度監(jiān)測報警儀等。SF6安全法規(guī)摘錄： 

第191條  裝有SF6設(shè)備的配電裝置室和SF6氣體實驗室，必須裝設(shè)強力通風裝置。風口應(yīng)設(shè)置在室內(nèi)低部。 

第192條  在室內(nèi)，設(shè)備充裝SF6氣體時，周圍環(huán)境相對濕度80%，同時必須開啟通風系統(tǒng)，并避免SF6氣體泄漏工作區(qū)。工作區(qū)空氣中SF6氣體含量不得超過1000ppm。

第196條  工作人員進入SF6配電裝置室，必須先通風15min，并用檢漏儀測量SF6氣體含量，盡量避免一人進入SF6配電裝置室進行巡視，不準一人進入從事檢修工作。

第198條  工作人員進入SF6配電裝置室低位區(qū)或電纜溝進行工作應(yīng)先檢測含氧量（不低于18%）和SF6氣體含量是否合格。

第199條  SF6配電裝置室低位區(qū)安裝能報警的氧量儀和SF6氣體泄露報警儀。這些儀器應(yīng)定期試驗，保證完好。

第203條  發(fā)生緊急事故應(yīng)立即開啟全部通風系統(tǒng)進行通風。發(fā)生設(shè)備防爆破膜破裂事故時，應(yīng)停電處理，并用汽油或丙酮擦拭干凈。